1检测项目:超声波检测(SAT)

覆盖产品:IC,分立器件等产品

检测能力:有分层面积百分比计算,缺陷尺寸标识,厚度与距离测量等功能。可进行A-scan(点扫描)、B-scan(纵向扫描)、C-scan(横向扫描)、Through-scan(透射扫描)。

执行标准:IPC/JEDEC

1检测项目:样品开封   

覆盖产品:IC,分立器件,模块等产品

检测能力:激光开封、化学开封、样品剥层。

执行标准:客户要求

 

1检测项目:尺寸测量

覆盖产品:MOSFET、IGBT、DIODE、Transistor、SCR,IC等分立半导体器件

检测能力:立体成像:最大20-200X;金相成像:最大1000倍;数码成像:最大6000倍

执行标准:JEDEC,AEC或客户自定义等

1检测项目:X-ray检测

覆盖产品:IC,分立器件等产品

检测能力:最高分辨率2um。具有空洞面积百分比计算,缺陷尺寸标识,厚度与距离测量等功能。可进行二维扫描、三维CT扫描。

执行标准:客户要求

1检测项目:去层

覆盖产品:IC,分立器件等产品

检测能力:化学去层。

执行标准:客户要求

1检测项目:拍照

覆盖产品:MOSFET、IGBT、DIODE、Transistor、SCR,IC等分立半导体器件

检测能力:3D拼图,高低倍光学显微镜

执行标准:客户要求
 

1检测项目:FIB(聚焦离子束)

覆盖产品:IC,分立器件等产品

检测能力:FIB(聚焦离子束)机台的应用即是将混合镓、液体及金属的离子源,照射于样品表面以取得影像或去除物质; Cross-Section截面分析:用FIB在IC芯片特定位置作截面断层,以便观测材料的截面结构与材质,定点分析芯片结构缺陷。

ProbingPad:在复杂IC线路中任意位置引出测试点,以便进一步使用探针台(Probe-station)或E-beam直接观察IC内部信号。

执行标准:客户要求

1检测项目:Probe探针测试

覆盖产品:分立器件等产品

检测能力:液晶法-漏电分析,利用液晶感测到IC漏电出分子排列重组,在显微镜下呈现出不同于其他区域的斑状影像,找寻在实际分析中困扰设计人员的漏电区域(超过10mA之故障点)。

执行标准:客户要求

1检测项目:I-V曲线测试

覆盖产品:分立器件等产品

检测能力:曲线追踪仪(CurveTracer)提供半导体电子组件特性量测、电性故障分析量测(EFA,ElectricalFailureAnalysis)及曲线绘图(IV-CURVE)

执行标准:客户要求

1检测项目:SEM/EDX(扫描电子显微镜/能谱仪)

覆盖产品:分立器件等产品

检测能力:扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、X光信号、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。根据信号强度组成形貌照片,能高倍率观察表面外观形貌。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息。

执行标准:客户要求